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空氣彈簧水平放置計算方法

1.本實用新型專利涉及到減振設備技術(shù)領(lǐng)域，實際為一種根據(jù)三可玩性擺的積極減振基座。

環(huán)境技術(shù)性：

2.現(xiàn)階段，半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢快速，對半導體材料生產(chǎn)設備的精密度規(guī)定愈來愈高，機器設備對微振等自然環(huán)境的需求也愈來愈比較敏感。稍有微振便會減少機器設備的生產(chǎn)量。乃至使機器設備沒法正常的工作中，因而微震動的防護越來越更加關(guān)鍵。

3.彈簧減振器可以立即當做是帶通濾波器。該過濾器可以合理濾掉其共振頻率以上的自然環(huán)境震動影響，但其對共振頻率周邊的震動影響的控制實際效果相對性較低。薄弱，有時候乃至會因為共振原理而變大震幅。因而，為了更好地在低頻率下得到更快的系統(tǒng)軟件減振實際效果，通常選用減少其共振頻率的方式，以防止在一些頻率下造成共震。

4.可是，如何使空氣彈簧能夠更好地防護從基座傳送到負荷的震動影響，與此同時也有著更強的精度等級，是一個必須處理的問題。

技術(shù)性執(zhí)行因素：

5.本產(chǎn)品的目地是給予一種根據(jù)三可玩性的擺式積極減振基座，以處理以上環(huán)境技術(shù)性中存在的不足。

6.本產(chǎn)品的技術(shù)要求完成如下所示：

7.一種根據(jù)三可玩性的擺式積極減振基座，包含現(xiàn)澆板、支撐點腔、空氣彈簧、活塞桿、軟性擺桿和數(shù)據(jù)控制板、軟性擺桿聯(lián)接在現(xiàn)澆板下邊，軟性擺桿下方與活塞桿滾動聯(lián)接，活塞桿坐落于空氣彈簧頂端，現(xiàn)澆板下邊配有震動傳感器，支撐點腔上端配有相位傳感器和音圈電機。

8.此外，現(xiàn)澆板為長方型空氣彈簧彈簧減振器水準置放計算方式一種根據(jù)三可玩性擺式積極，由5mm不銹鋼板材做成。